光學(xué)透鏡的表面質(zhì)量用來(lái)衡量光學(xué)透鏡表面特性，并且涵蓋了一些劃痕和坑點(diǎn)等瑕疵。這些表面的大部分瑕疵純粹是表面上的瑕疵，并不會(huì)對(duì)系統(tǒng)性能產(chǎn)生很大的影響，雖然，它們可能會(huì)使系統(tǒng)通光量出現(xiàn)微小的下滑，使散射光出現(xiàn)更細(xì)微的散射。然而，有些表面會(huì)對(duì)這些影響更敏感，如：

(1)圖像平面的表面，因?yàn)檫@些瑕疵會(huì)產(chǎn)生聚焦

(2)具有高功率級(jí)別的表面，因?yàn)檫@些瑕疵會(huì)增加能量吸收并毀壞光學(xué)透鏡。

表面質(zhì)量常用的規(guī)格是由MIL-PRF-13830B說(shuō)明的劃痕和坑點(diǎn)規(guī)格。通過(guò)將表面的劃痕與在受控的照明條件下提供的一系列標(biāo)準(zhǔn)劃痕進(jìn)行對(duì)比， 來(lái)確定劃痕名稱。因此， 劃痕名稱不是描述其實(shí)際的劃痕， 而是根據(jù)MIL規(guī)格將其與標(biāo)準(zhǔn)的劃痕進(jìn)行比較。然而， 坑點(diǎn)名稱直接與表面的點(diǎn)或小坑有關(guān)。坑點(diǎn)名稱是通過(guò)以微米計(jì)的坑點(diǎn)直徑除以10來(lái)計(jì)算的，通常劃痕坑點(diǎn)規(guī)格在80至50之間將視為標(biāo)準(zhǔn)質(zhì)量，在60至40之間為精確質(zhì)量，而在20至10之間將視為高精度質(zhì)量。